轉輪除濕機在半導體行業(yè)潔凈室中的應用

轉輪除濕機在半導體行業(yè)潔凈室中的應用

　　目前，空氣除濕主要有四種方式，通風(fēng)除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調除濕系統中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環(huán)境對濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩定且能耗也比較低，目前應用比較廣泛。但在生產(chǎn)環(huán)境對濕度要求較高(RH=45±5%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟的。采用轉輪除濕機，將不受空氣露點(diǎn)影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉輪除濕機進(jìn)行，由于其再生耗能量也比較大，此種方案也不是最經(jīng)濟的。由于轉輪除濕和冷卻除濕各有所長(cháng)，將其優(yōu)化組合，各取所長(cháng)，互補所短，會(huì )更好的發(fā)揮其效能。

　　濕度在半導體行業(yè)中的要求 半導體的生產(chǎn)工廠(chǎng)要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車(chē)間內部要求維持穩定的環(huán)境，特別是對于生產(chǎn)環(huán)境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個(gè)空調參數都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統的要求，由于電子產(chǎn)品對靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對其品質(zhì)的影響，其對濕度的精度提出了嚴格要求，對于空調系統的配置，則要求系統同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。 一般的，半導體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而對于這個(gè)溫濕度要求，傳統上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著(zhù)一個(gè)致命問(wèn)題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費，特別是由于半導體行業(yè)的大新風(fēng)，大排風(fēng)系統、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠(chǎng)主要集中分布在華南和華東地區的特殊情況，使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。 因此，在最新的許多半導體廠(chǎng)房的空調系統開(kāi)始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機組(冷卻除濕)和轉輪除濕機聯(lián)合處理濕度、溫度而后通過(guò)后空調機組處理的組合方式， 達到室內送風(fēng)溫、濕度要求，并取得了顯著(zhù)收益。

　　轉輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調系統的特性

　　轉輪與冷卻聯(lián)合除濕空調系統，就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統與轉輪除濕相結合，利用制冷系統的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而利用轉輪除濕機進(jìn)行深度除濕。冷卻除濕在一定的范圍內除濕效果好，且性能穩定，但當濕度要求較低時(shí)，冷卻除濕的能力明顯下降，此時(shí)選用轉輪與冷卻聯(lián)合除濕系統，可以達到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕，突出了冷卻除濕機高露點(diǎn)工況下能耗低的特點(diǎn)，利用轉輪除濕進(jìn)行深度除濕，突出了轉輪除濕機低溫低濕條件下，不受露點(diǎn)限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。此系統常用的處理流程如下： 1：冷卻除濕;2：轉輪除濕;3：等濕冷卻;5：再生加熱;6：絕熱再生

　　在低濕環(huán)境條件下，采用轉輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調系統具有僅冷卻除濕機不可比擬的優(yōu)越性。轉輪除濕機的核心部件是一個(gè)蜂窩狀轉輪，轉輪由特殊陶瓷纖維載體和活性硅膠復合而成;轉輪兩側由特制的密封裝置分成兩個(gè)區域：處理區域及再生區域;當需要除濕的潮濕空氣通過(guò)轉輪的處理區域時(shí)，濕空氣的水蒸汽被轉輪的活性硅膠所吸附，干燥空氣被處理風(fēng)機送至需要處理的空間;而不斷緩慢轉動(dòng)的轉輪載著(zhù)趨于飽和的水蒸汽進(jìn)入再生區域;再生區內反向吹入的高溫空氣使得轉輪中吸附的水份被脫附，被風(fēng)機排出室外，從而使轉輪恢復了吸濕的能力而完成再生過(guò)程，轉輪不斷地轉動(dòng)，上述的除濕及再生周而復始地進(jìn)行，從而保證除濕機持續穩定的除濕狀態(tài)。

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